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非晶电池板

非晶电池板

非晶硅电池一般采用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition--等离子 增强型化学气相沉积)方法使 高纯硅烷等气体分解沉积而成的。此种制作工艺,可以在 生产中连续在多个真空沉积室完成,以实现大批量生产。由于沉积分解温度低,可在玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑 料片上沉积薄膜,易于大面积化生产。


  
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